半导体高端封测废水怎么处理方法|半导体高端封测废水处理案例
半导体芯片中档测封相互配套涉重废水处理——MVR强硬循环系统零排工程项目
活动蓝本
半导体材料设备中档公测投资工程项目,规模性150m³米/天,是首条半导体材料设备公测配套方案涉重废渣零排投资工程项目。公测教学环节的镀镍、镀铜、引线骨架清洁工作会呈现含镍含铜废渣,居民小区需求"无尾水外排",产水全不中水回用于产线。
水环境特殊性与常见问题
废水治理 以含镍主要(密度10–100毫克/升),伴氢化物发生器铜、锌,pH下降大(2–12),有着光刻胶农药残留的少许无机物。公测厂训练场地紧,需求治理 生活设施土地征用小;零排含意着浓水难以建筑垃圾清运太久,须得本地人化掉结晶体闭环控制。
解决生产工艺路线地图
整体的走"分质整理 → 预除理除杂 → 电学奠定除镍 → 滤水 → UF+二级RO → MVR强硬循环往复化掉 → 冷疑水中水回用":
含镍线先调pH到10–11,加药系统氢被防氧化钠转换Ni(OH)₂积累,多加加硫钠淬硬层气体吸附多余镍(加硫镍Ksp比氢被防氧化镍更小,能够镍压到0.1毫克/升以上);
凝固满水后经多导电介质活性炭过滤清洁+联防队员活性炭过滤清洁后进UF,再进3级RO,产水直观回产线清晰;
RO浓水(含盐+残留物血本属)进MVR强硬巡环挥发器,强硬巡环能扛高含盐结渣,挥发器自身在线上难以清理,不能堵;
MVR空气冷却水离开工业废水处理水盆,蒸发器残液委外燃烧或看作危险废物代理,整个的工业园区无气态外排。
重要机器优势之处解释
MVR强迫循环往复系统比较硬性降膜化掉,循环往复系统空气流速高、导热面不宜结镍盐/碳酸盐垢,适用于公测这样"储水量不高但水体杂"的情境;三合一化撬装制定征占比老式化掉塘+多效化掉计划小60%上文;有害气体侧配置生物工程滤池,把的调节池和废水间的有害气体整理后溶解成CO₂和水,杜绝公测厂紧挨办公楼区的臭味投诉信。
工作疗效与效率
出水出水镍≤0.1毫克/升、铜≤0.1毫克/升,远远超过《化学镍被污物污染物量规则》表三;都150立米米/天产水回收利用于测封产线清洁工作,方式等量刚采水;危险废物(化掉残液+污泥干化)量比一般"积淀+污染物量"形式减约70%。对富士康侧,测封产品环境分级管理卡点遭打通;