某半导电源芯片研制厂在晶圆工艺历程中，安全使用硅烷对其进行硅外延性种子发芽，尾气排放洗衣塔产生高质量浓度含硅废污水净化处理工艺。废污水净化处理工艺兼有pH波动性大（2-11）、硅含量高的优点，经典净化处理方式 易有硅垢堵住相关问题。 废液组分及特征 生产废水关键化学物质为： 析出性硅酸盐 ：SiO₂氨水浓度达1000-1500mg/L 硝酸钠/氢氧化的钠 ：洗條塔酸碱度洗條液使用量 粉末硅 ：納米级SiO₂橡胶胶体部分 痕量砷 ：塑料原材料沉渣带去 操作生产工艺方法 多元化用于"两极结合+膜滤水+汽化晶粒"技艺： 三级中合 ：用CaO改善pH至4-5，制成硅酸钙沉淀出的，硅消除率60%。 三级与 ：加Na₂CO₃将pH不断提升至9，进一部滤渣其他硅，串并联用镁剂除砷。 反渗透膜体统 ：0.02μm卫浴陶瓷膜过滤器纳米级级硅小粒，通量比较稳定在80LMH。 MVR减压蒸馏器 ：浓缩咖啡高盐焦化废水，晶粒出Na₂SO₄副成品，水造纸废水处理率超90%。 后面效用 总硅从1500mg/L减至5mg/L低于 砷成分从0.8mg/L下降0.01mg/L 系统化无水垢工作不超2年 历年利用硝酸钠钠纳米线约800吨