该厂为8厘米晶圆生產线设备配套的超蒸馏水整体，整天造成含硅焦化废水150吨。焦化废底层的水中虽无天价属，但硅水平高易水垢，且热敏电阻率需完成18MΩ·cm就可以工业生产废水加工处理。本来的加工处理工学艺不了充分满足新颁布法律的《微电子工业生产水环保问题物排出准则》（GB39731-2020）特别排出规定值。 焦化废水因素特色 重要弄脏物 ：氢氧化铁硅（200-300mg/L）、粒子硅（颗粒直径0.1-1μm） 特异需要 ：TOC<10μg/L，硼水分含量<5μg/L 水的质量形态 ：低水的电导率（<50μS/cm）但硅有机物特征繁多 处置鑫霖环保步骤 特色化分为"梯级膜脱离+电去铁离子"结合工艺设备： 微滤预治理 ：1μm陶瓷厂家膜截拦大粒状硅，通量保持80LMH 化合物互转树脂材料 ：D201大孔聚酯树脂会可选择性吸硅酸团伙 中级RO软件 ：首段回笼率60%，最后段选取高脱硼膜电气元件 EDI电去阳离子 ：交流电规格2A/m²，继续快速清理残余物阴阳离子 分光光度计臭氧消毒 ：254nm太阳极为线用量40mJ/cm² 技术工艺工作亮点 开放专门的阻硅剂（有机质胺类和好物），减缓膜破坏阶段3倍 EDI模块图片企业创新流道来设计，硅的还原率增强至99.8% 再线硅研究测试仪（精确测量超范围0.1-500μg/L）体现精确保持 运转成果 经第一方检验： 总硅从280mg/L减少为0.05mg/L 硼成分从8μg/L降下来0.3μg/L 模式回收分类处理率从原40%的提升至68% 膜换新周期怎么算延长时间至5年，年启用成本价降低35%