该晶圆产生厂座落华北省市，具体加工8屏幕尺寸光电器件晶圆，日访问量污废水 排污量约800吨。鉴于加工整个过程中动用广泛氢佛酸开始晶圆蚀刻，会导致污废水 中氟化物酸度敢达200-300mg/L，远超我国排污条件（10mg/L下）。 废水处理材质及来自 废水处理工艺通常来三大教学环节： 晶圆蚀刻工艺 ：含高盐浓度氟化物（HF）、硝酸铵及几瓶巨资属 化学工业机诫打磨抛光（CMP）生活污水 ：含纳米级级硅粒状、有机物络合剂 专用设备刷洗工业废水 ：含异丙醇、挥发酚等有机化学物 解决工作流程工作流程 采用了"催化放置+混泥土放置+高度过滤清洁"三阶段治疗软件系统： 考试内容一级治理 ：添加氯化钙和氢氧化反应钙，变成氟化钙悠长岁月中，氟化物删去率达85% 五级工作 ：增多PAC（配位聚铝）和PAM（高密度聚乙烯酰胺），除掉橡胶胶体部分态严重有机废气 三级考试治疗 ：在多媒质过滤程序器和可溶性炭吸收，水流氟化物有机废气浓度平衡在8mg/L有以下 核心环保设备例如：pH装置自动调接装置、斜管水解池、板框压滤（厌氧颗粒污泥缺水）。 结果成效 新项目自动运行四年评估数据资料提示： 氟化物平均的质量浓度：7.2mg/L（压低国家要求） COD取除率：92% 工业废水含水量率：≤65% 年收集氟化钙副物品约150吨，体现资源量化利用