活动时代背景
某大一些的半导体存储芯片手工制造中小机构坐落于长角形城市,主耍制造晶圆和存储芯片。在制造期间中,晶圆切开和镜面抛光关键期导致过量打磨液污废水 ,平均尾气占有量上涨约50吨。在污废水 中内含高盐浓度悬停物、金属材料阴阳离子及充分插入剂,简单尾气排放物会对自然环境构成重要破坏,中小机构紧缺鑫霖环保专门处里公共设施。
生活污水有效成分及主要来源
机磨液工业废水注意因素于晶圆生产制造中的普通机诫机诫cnc精密机械加工(CMP)多种工序,注意影响物涉及到:
悬浮按钮粒状物
:二脱色硅、脱色铝等精磨粒状,孔径在0.1-1μm,浓度值敢达2000mg/L。
金属质铁离子
:铜、铁、锌等,是来自于拋光垫破损及晶圆接触面材料层,铜铁离子质量浓度约50mg/L。
充分增添剂
:还有外表可溶性剂、缓蚀阻垢剂等,COD值在800-1200mg/L。
酸碱平衡性材料
:pH值震荡大,一般在2-11期间。
处理工艺流量流量
面向废污水功能,按照“预净化外理+生物化+长度净化外理”组合公式工艺技术:
调接池
:均衡性水体需水量,增加酸性控制pH至中性粒细胞。
混凝土凝固
:污泥脱水PAC(缩聚氯化铝)和PAM(聚丙乙烯酰胺),清掉透明桌面物和氢氧化铁,沉降后SS清掉率>90%。
离子液体氧化物
:用Fenton实验试剂(H₂O₂+Fe²⁺)吸附设计修改剂,COD去掉率达60%。
生态学整理
:MBR膜海洋生物反應器进的一步降解塑料乘余设计物,COD降为100mg/L以上。
铁离子对调
:专门的光敏树脂物理吸附铜化合物,溢水铜纯度<0.5mg/L。
砂滤+活性酶炭筛选
:抓实出水量使水变,完成《工业废水一体化排放出标准化化》(GB8978-1996)第一标准化化。
以后的效果
系統运转维持后:
SS<10mg/L,COD<60mg/L,铜铁离子<0.3mg/L。
回收利用率达40%,已满及格排污,年缩短电镀废水排污1.20万吨。
加工处理成本预算约15元/吨,远达不到的行业均衡。